플라스마 해석 소프트웨어, K-SPEED
주요 CAE 소프트웨어 소개
■ 개발 : 전북대, 부산대, 한국핵융합에너지연구원, 한국표준과학연구원, 경원테크
■ 자료 제공 : 경원테크, 031-706-2886, http://www.kw-tech.com
K-SPEED는 반도체/디스플레이 플라스마 식각 공정에 영향을 미치는 다양한 물리적 화학적 영향을 고려하여 효과적인 계산을 통해 식각 형상과 Bowing, Necking, Etchstop, Polymer Passivation 등과 같이 수반되는 현상을 예측하기 위한 플라스마 식각 형상 시뮬레이션 소프트웨어이다.
1. 제품의 주요 특징
■ 자체 개발 GUI : 사용자의 피드백을 반영하여 지속적으로 업데이트 진행하고 있음
■ 실증적 플라스마 화학반응 데이터 : Fluorocarbon gas chemistry DB(C4F6/C4F8/CH2F2/Ar/O2)
■ 빠른 계산 속도 : 모듈에 따라 CPU/GPU 구분 및 병렬 계산 알고리즘 도입
2, 주요 기능
■ Bulk plasma simulation (K-0DPLASMA)
■ Plasma etch profile simulation
· Ballistic transport module
· Surface reaction module
· Sputtering module
· Profile evolution module
■ Modification, Branch : 계산 도중 파라미터를 변경하거나 여러 단계를 동시에 시뮬레이션 하는 기능
■ 사용자 편의성을 갖춘 pre-/post-processor
3. 도입 효과
■ 유입 가스종에 따른 벌크 플라스마 물성 예측
■ 플라스마와 웨이퍼 계면에서 발생하는 표면반응 예측
■ 나노급 3차원 반도체 구조물들에서 이온 및 중성종들의 이동현상
■ 플라스마 공정에서 반도체 제작 시 발생하는 3차원 자유계면 변화(bowing, necking, etchstop, polymer passivation 등) 예측
4. 주요 고객 사이트
SK하이닉스, TEL Miyagi, KIOXIA
좀더 자세한 내용은 'CAE가이드 V1'에서 확인할 수 있습니다.
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