한국생산제조학회가 대한민국 생산제조 기술 혁신을 위한 ‘2025 한국생산제조학회 춘계학술대회’를 7월 16일부터 19일까지 강릉 세인트존스 호텔에서 진행했다. 이번 행사에는 20개 학술부문과 특별세션에서 총 400여 편의 논문이 발표되었으며, 양자역학 및 반도체 등 새로운 기술과 국제 환경의 변화에 따른 신산업 정책에 대한 산업계 전문가의 특별초청강연과 포럼이 진행되었다. ■ 최경화 국장     이번 대회의 중심 의제는 생산제조 산업의 지속 가능한 성장과 미래 경쟁력 확보였다. 특히 AI 기반 스마트 공장, 디지털 바이오 융합, 친환경·경량 소재, 로봇자동화 등 고도화된 첨단기술 기반의 생산제조 기술과 산업의 전략적 연계가 집중적으로 조명되었다. 한국생산제조학회 유영은 회장(한국기계연구원)은 “올해는 창립 30주년을 맞이하는 뜻깊은 해이다. 우리 학회는 4000여 회원들의 헌신과 참여를 바탕으로 대한민국 생산제조 분야를 대표하는 학회로 자리매김하고 있다. 올해는 자율제조와 인공지능 등 첨단기술의 융합이 가속화되고 메타버스와 데이터 기반 산업 생태계가 빠르게 성장하는 중요한 시기”라면서, “이번 학술대회가 연구와 2025/8산업 활성화를 모색하는 뜻깊은 기회가 되기를 바란다”고 밝혔다.   반도체·양자기술 집중포럼, 산업 실용성과 신정책 조명 업계와 학계 전문가가 모여 주요 기술 이슈와 정책 방향을 논의한 집중포럼은 이번 대회의 핵심 세션으로 꼽혔다. ‘집중포럼 Ⅰ’에서는 반도체 EUV(극자외선) 기술을 주제로, 한국폴리텍대학 이동진 교수가 ‘EUV 설비 하드웨어 개선’을, 이솔 김태중 상무는 ‘EUV 마스크 검사장비 설계 기술’을 발표하며 반도체 장비 국산화에 대한 새로운 가능성을 제시했다. ‘집중포럼 Ⅱ’의 주제는 양자기술이었다. 한국산업기술기획평가원 심창섭 실장은 산업부의 양자 관련 정책 동향을 발표했고, 한국기계연구원 김병주 박사는 양자 분야 소부장(소재·부품·장비) 기술 동향을 공유했다. 또한 포스코홀딩스 허창훈 박사는 단기 응용 가능한 양자컴퓨팅 기술이 산업에 미칠 영향력에 대해 글로벌 시사점을 소개해 참석자들의 이목을 집중시켰다. ‘집중포럼 Ⅲ’에서는 한국산업기술진흥원 백성진 국제협력단장이 글로벌 산업협력 사업을 소개하며 국내 기술의 글로벌화 전략과 기업·정부 간 협업 노하우를 공유했다. 또한 이번 학술대회에서는 글로벌 통상환경 변화와 신산업정책에 대한 깊이 있는 논의가 진행됐다. 특히, 미·중 전략경쟁 심화 속에서 대한민국 제조업이 직면한 위기와 기회를 조명하고, 새로운 산업정책과 대응전략을 제안하기 위한 특별초청강연 두 편과 전문가 포럼이 마련되며 참석자들의 관심을 끌었다. 첫 번째 특별초청강연은 관세법인 탑스 황선경 관세사가 맡아 ‘트럼프 관세정책과 보호무역주의, 관세행정 대응방안’을 주제로 발표했다. 이어진 두 번째 특별초청강연에서는 산업연구원 문종철 연구위원이 ‘신산업정책 연구 : 미·중 전략경쟁 시대 신 산업정책’을 주제로 발표했다. 강연 후 이어진 전문가 포럼에서는 통상, 기술, 정책 분야의 핵심 인사들이 참여해 보다 구체적인 대응 방향을 심도 있게 논의했다. 포럼은 아주대 이문구 교수의 사회로 진행되었으며, 강연자로 참여한 황선경 관세사, 문종철 연구위원 외에도 박근석 PD(한국산업기술기획평가원), 이기녕 단장(한국산업기술진흥원), 노승국 책임연구원(한국기계연구원)이 패널로 참여했다. 패널들은 미국의 관세정책 변화가 한국 수출 제조업에 미치는 영향, 이에 대한 기업의 전략적 대응 방향, 신산업 R&D 투자 확대 필요성 등 다양한 주제에 대해 토론을 진행했다.     AI, 로봇, 3D프린팅 등 차세대 제조기술 강연 및 세션 다채롭게 진행 산학 연계를 중심으로 실증 가능한 기술 공유와 미래 인재 양성 방안을 담은 다양한 세션도 마련됐다. 주요 프로그램으로는 ▲AI 기반 제조기술 강습회 ▲Handson 반도체 팹 튜토리얼 ▲3D 프린팅 기반 디지털 바이오 융합 ▲로봇 및 자동화 설계 강연이 진행됐으며, KIAT(한국산업기술진흥원)와 함께하는 신진 연구자 하이테크 세션과 청년 인재 양성 프로그램인 ‘루키 생산제조 엔지니어 세션’ 등이 유익한 실무 중심 프로그램으로서 우수한 평가를 받았다. 이들 프로그램은 단순한 이론 발표를 넘어 실제 산업 현장에서 적용 가능한 기반 기술의 운영 사례와 산업 정책 흐름을 연결했다는 점에서 실용성과 확장성 모두를 갖췄다.   학회 간 교류와 발표세션 통한 공동 연구 생태계 강화 생산제조 관련 학회 간 기술 교류와 공동 연구 기반 확대를 위한 ‘관련 학회 연합 발표 세션’도 마련되었다. 이 자리에는 한국생산제조학회 유영은 회장, 한국기계가공학회 안동규 회장, 한국소성가공학회 이영선 회장이 참여하여 각 학회의 연혁, 주요 연구 주제, 사업 등을 소개했다. 발표 세션에서는 한국기계연구원 노승국 박사가 ‘국산 CNC 제어시스템 개발’, 장원석 박사가 ‘나노 구조의 초단펄스 레이저 폴리싱’, 솔루션랩 이경훈 대표가 ‘MBD(Model-Based Development)를 활용한 설계 및 제조 프로세스 통합’에 대해 소개해 호응을 얻었다.   기술 전시 부스 운영, 산·학·연 현장 기술 소통 장 마련 학술 발표 외에도 다양한 기업 및 기관이 산학협력 기술 전시관을 통해 참여해 현장과의 연결성을 강화했다. 강원대학교, 단국대학교, 한국공작기계산업협회, 한국탄소산업진흥원, 한국자동차연구원 등 연구기관들은 관련 연구성과와 정부 사업을 소개했으며, 3D 프린팅 및 정밀 설루션 전문 기업인 크렐로, EOS 한국지사, 스팀솔루션, 썸텍비전, 네오나노텍 등이 참여해 자사 첨단 기술이 반영된 제품과 서비스를 시연했다.     ■ 기사 내용은 PDF로도 제공됩니다.

반도체 제조를 위한 노광 장비 전문 기업인 ASML이 자사 엔지니어로서의 하루 체험을 VR(가상현실)로 제공하는 ‘ASML Hero(히어로) 캠페인’을 한국에 론칭했다고 밝혔다. ASML은 이번 국내 캠페인을 통해 글로벌 반도체 산업에 기여할 우수한 인재들에게 ASML의 기술력은 물론 일하는 방식과 기업문화를 보다 친숙하게 알려 우수 인재들을 확보해 나간다는 계획이다. ASML의 한국 지사인 ASML 코리아는 2021년부터 자사의 기술력과 기업문화를 알리기 위한 캠페인을 기획하고 이를 확산하고 있다. 올해 ASML 히어로 캠페인은 엔지니어가 ASML에서 경험할 수 있는 상황을 보다 생생하게 전달하기 위해 스토리텔링을 기반으로 360도 VR 웹, 인터랙티브 콘텐츠, 게임 요소를 반영해 한층 더 흥미로운 과정을 제공한다.     ASML 히어로 캠페인은 ASML의 핵심가치인 ‘챌린지’, ‘컬래버레이션’, ‘케어’ 등 총 3개 섹션로 구성됐으며, 캠페인에 참여하는 사람은 각 섹션별로 제공하는 다양한 요소들을 통해 ASML의 엔지니어로서의 하루를 간접 체험할 수 있다. 특히 캠페인 사이트에 입장하면 시네마틱 영상이 등장해 참여자들은 미래지향적인 외관의 ASML 건물에 들어가는 듯한 느낌을 받을 수 있다. ASML 히어로 캠페인의 메인인 ‘컬래버레이션’ 섹션에서는 CS(Customer Support) 엔지니어가 되어 ASML 내 실제 협업 과정들을 360도 VR로 경험할 수 있다. 컬래버레이션 섹션으로 입장하면 팹(FAB) 시설 내 가상의 문제 발생 상황과 협업 미션을 접하게 된다. 이후 클린룸 등 시설과 입장 과정, 필수 착용 장비, 주의사항, 문제해결, 협업 과정 등의 정보가 VR과 이미지, 음성 안내로 제공된다. 모든 미션을 마치면 명예 엔지니어 임명장도 발급 받을 수 있다. ‘챌린지’ 섹션에서는 ASML의 핵심기술을 3D 비디오로 체험할 수 있다. 특히 DUV 및 EUV 리소그래피 장비의 각 핵심 정보와 기능, 작동 모습을 3D 그래픽과 영상으로 보다 생생하게 확인할 수 있다. ‘케어’ 섹션은 ASML의 내부 문화와 역사를 보여주는 사진 전시와 ASML 직원들이 누리는 다양한 혜택, 직원들이 직접 전하는 기업 소개, ASML에서 하는 일 등의 영상을 확인할 수 있다.     이번 캠페인을 기획한 ASML 코리아 담당자는 “다소 딱딱하게 전달될 수 있는 ASML의 기업정보, 특히 반도체 장비 정보들을 최근 MZ 세대들이 선호하는 VR 기술을 반영해 보다 리얼하고 체감도 높게 전달하고자 했다”며 캠페인의 취지를 밝혔다. ASML 코리아의 이우경 대표이사는 “ASML 코리아는 한국의 우수 인재를 확보하고자 다양한 방식으로 캠페인을 펼쳐오고 있다. 이번 ASML 히어로 캠페인은 우리가 하는 전문적인 업무 영역과 필요로 하는 인재상에 대한 정보를 접할 수 있을 것”이라고 전했다.

전 세계 기업이 예측 불가능하게 변화하는 소비자의 행동 및 요구사항에 적응하고자 노력함에 따라, 기업의 애플리케이션과 통찰력을 적시적재에 안전하게 활용할 수 있는 플랫폼이 필요성이 대두되었다.  이에 IBM은 IT가 새로운 전환점을 맞이하는 흐름에 발맞춰 하이브리드 클라우드 환경을 위해 특별히 설계된 신제품 IBM Power E1080 서버를 공개했다.     IBM Power E1080 서버는 최신 IBM Power10 프로세서를 기반으로 한다. IBM Power10은 IBM의 첫 상용 7나노미터(nm) 프로세서로, IBM이 설계하고 삼성전자가 7nm 극자외선(EUV) 공정 기술을 적용해 제작했다.  IBM Power10 기반의 IBM Power E1080 서버는 가장 안전한 서버 플랫폼을 지향하며, 고객이 IT 인프라 전 범위에서 안전하고 최적화된3 하이브리드 클라우드 환경을 운영하도록 지원한다. 딜런 보데이(Dylan Boday) IBM 인공지능 및 하이브리드 클라우드 제품 관리 부사장은 “E1080 설계시 코로나19가 가져온 소비자 행동 변화는 물론 IBM 고객의 행동 및 IT 인프라 요구사항 변화까지 변화시키고 있는지 고려해야 했다”면서, “E1080은 IBM 최초로 칩부터 하이브리드 클라우드 환경을 염두에 두고 설계한 시스템이며, IBM이 제시하는 ‘역동적이고 안전한 최적의 하이브리드 클라우드 경험’이라는 비전을 실현하기 위한 제품”이라고 말했다. IBM Power E1080은 현재 주문 가능하며, 10월 말경 제품 배송이 시작될 예정이다. IBM이 함께 선보인 IBM 파워 엑스퍼트 케어는 고급(Advanced) 및 프리미엄(Premium)급 전문가 관리 서비스가 포함된 계층형 서비스 방식을 제공한다.   

솔리드웍스 설계와 시뮬레이션 통해 그린뉴딜 유망기업으로 발돋움   2018년 설립된 어썸레이는 실내 공기 정화 분야의 소재·부품·장비를 개발 및 생산하는 스타트업이다. 솔리드웍스의 설계 및 시뮬레이션 솔루션을 활용해 어썸레이는 더욱 빠르게 제품 개발을 진행할 수 있었고, 이는 투자 확보 및 기업 성장에도 기여하고 있다. ■ 자료 제공 : 다쏘시스템코리아   그림 1. 솔리드웍스로 설계한 스마트 환기장치를 소개하는 어썸레이 김세훈 대표   과제 : 투자 초기 시제품 제작, 양산품 모듈 제작기간 단축, 실내공기 흐름의 가상 시연 솔루션 : SOLIDWORKS Professional, SOLIDWORKS Flow Simulation 효과 : 시제품·양산품의 제작기간 단축, 투자자 확보, 공공기관 품질 인증, 수출 기회 창출   실내공기와 솔리드웍스의 만남 어썸레이는 탄소나노튜브를 섬유로 뽑아내는 소재 기술, 차세대 X-선 발생 장치를 위한 부품 기술(EUV&X-ray 튜브), 공기를 살균·정화하는 필터리스(filterless) 공기정화장치까지 실내 공기 정화에 필요한 소재·부품·장비를 모두 독자기술로 개발 및 생산하고 있다. 공기정화 장치 시장은 미세먼지로 인한 대기오염 지수가 높아짐에 따라 꾸준히 성장하고 있다. 게다가 코로나19의 감염 확산 위험이 증가하면서, 실내 공기 질 개선에 대한 관심은 예전과 사뭇 다르다. 이러한 가운데 미세먼지 제거 성능을 앞세운 어썸레이의 필터리스 공기정화장치는 한국건설생활환경시험연구원(KCL)과 한국산업기술시험원(KTL)으로부터 세균 99.9%, 부유바이러스 98% 제거 성능 인증을 획득했다. 그리고 창업 2년 차인 2020년 9월에는 중소벤처기업부와 환경부로부터 녹색혁신을 선도할 ‘그린뉴딜 유망기업 1호’로 선정되기도 했다. 원천기술 검증과 성장 가능성을 인정받은 어썸레이는 기술력과 시제품 그리고 젊은 열정을 뛰어넘어 ‘건강·환경·건물’의 가치를 빛나게 하는 기업을 지향하고 있다. 어썸레이의 김세훈 대표가 “솔리드웍스가 있어서 가능한 꿈”이라고 할 만큼, 솔리드웍스는 3년차 스타트업인 어썸레이의 성장 과정에 마중물이 되고 있다.   애자일 시대, 계획보다 더 빠른 아이디어 구현 작년 어썸레이는 카카오벤처스, 서울대기술지주 등으로부터 22억 원의 투자를 유치하면서 외부 변화에 신속하게 대응할 수 있는 내부 조직과 업무 형태 즉, 애자일(agile) 업무 수행 방식의 필요성을 절감했다. 특히 2020년은 투자유치와 유망기업 사업공모가 같이 맞물려 3년치 사업을 한 번에 몰아친 해였다. 스타트업에게 시제품을 새로 만들거나 기존 제품을 개선하는 일은 매우 중요하다. 무엇보다 양산품이 없는 상태에서 투자 유치에 큰 역할을 하는 것은 천 마디 말보다 사진이고, 사진보다 실물이기 때문이다. 그리고 짧은 작업 계획과 시제품을 반복적으로 수정 및 보완해야 하는 애자일 시대에 솔리드웍스의 직관적인 UI와 높은 성능은 신속한 작업속도가 필요한 엔지니어에게 유용한 도구가 된다. 신입직원이 추천한 솔리드웍스는 직관적인 UI와 빠른 작업속도를 바탕으로 다양한 기능을 활용하기에 매력적인 선택지이다. 2D 도면, 기계 설계, 기구 설계, 실사화 등 일부 기능에 한정된 소프트웨어와 달리 솔리드웍스는 스케치부터 피처까지 종이에 그린 아이디어를 3D 화면으로 쉽고 간단하게 구현할 수 있는 것이 특징이다. 솔리드웍스는 높은 설계 신뢰도와 간단한 검증 절차로 부장급 설계자가 없는 젊은 스타트업에 적합하다. 파트 설계 시 전체 어셈블리에서 한 번에 간섭 확인이 가능하며, 설계 과정이 직관적으로 드러나 있어 메모 기능을 활용하면 치수 수정 시 생기는 오류도 더 쉽게 파악할 수 있다. 또한, 각종 치수 측정이나 부피 측정, 비중 또는 밀도 값 대입을 통한 무게 계산이 간편하며, 라이브러리에 수록된 소재도 다양해서 정확한 수치를 찾는 시간도 줄일 수 있다.   그림 2. 솔리드웍스와 3D 프린터를 이용해 제작한 라즈베리 파이 기반 공기질 센서의 시제품   그린뉴딜 유망 1호 기업 선정의 비결 기존 제품을 보완하거나 대체해야 인정받는 시장, 어썸레이의 필터리스 공기정화장치는 이 두 가지 문제를 모두 해결했다. 기존 HEPA 필터에서 나오는 차압을 보완했고, 오존을 발생했던 기존 전기 집진기를 대체해 오존 발생 없이 유해 입자를 포집하는 기술이 탑재됐다. 기존의 공기청정기는 건물 설비로 인정받지 못해, 몇 대를 설치해도 감가상각되는 고정 설비일 뿐이다. 그에 반하여 어썸레이의 스마트 환기장치는 공조 장치(AHU)나 전열교환기(ERV)에 직접 장착되기 때문에 건축기준 완화, 세제 혜택, 금융지원 혜택을 받는 건물 설비로 인정받는다. 불과 1년 전만 해도 기술력과 작은 시제품만 가진 스타트업이 건강을 생각하고 건물의 가치를 높이는 장치를 선보일 수 있었던 것은 솔리드웍스가 있었기 때문이다. 사업 초창기 아크릴 가공업체에 부탁한 홍보용 시제품만으로 투자 설명회와 특허 획득 작업을 했으니, 질문과 발표는 큰 이슈가 되지 못했다.   그림 3. 초기 PR용 아크릴 시제품   아크릴, 레이저 가공 업체의 연락만 기다리던 사무실은 회의가 끝나는 동시에 솔리드웍스로 설계를 시작해 전에 없던 속도로 양산 모듈 설계를 진행했다. 기초설계부터 양산품 모듈 시제품 제작까지 12개월을 계획했지만 불과 3개월만에 첫 제품을 받았고, 4개월 차에 바로 납품할 수 있었다. 남은 7~8개월은 대한무역투자진흥공사(KOTRA)와 삼성물산 납품에 주력했다. 특히, 솔리드웍스를 통한 빠른 기구 설계 덕분에 원천 기술력을 증명하는 데에도 힘을 실을 수 있었다. 2019년에는 예상보다 빠르게 미세먼지·세균·바이러스 제거 성능 공인 성적서를 획득했고, 2020년 환경부와 중소벤처기업부 주관사업인 ‘그린뉴딜 유망기업’에 업력 3년 미만 기업 중에서 유일하게 선정됐다. 그린뉴딜 유망기업 사업은 우수 기술을 보유한 유망 중소기업을 선정해 집중적으로 지원하는 그린뉴딜 핵심 사업이다. 어썸레이를 포함한 선정 기업에는 혁신 성장을 위한 연구개발 및 사업화 자금을 최대 3년간 30억 원까지 제공하고, 기업 성장에 필요한 펀드·융자·보증 등 정책금융자금을 연계해 추가 지원이 이뤄진다. 어썸레이는 건축용 2D 소프트웨어와 해당 전문가가 없이도 실내 구조와 기존 설비에 맞는 필터리스 공기정화장치를 솔리드웍스로 재설계하여 사용했다. 솔리드웍스의 파생 설정과 2D 도면 작업 덕분에 KOTRA, 삼성물산, 오투타워, 디캠프, 맹그로브 등에 성공적으로 납품했다. 또한 경상남도 하동군 여성의원회관과 보건지소 등에도 설치를 앞두고 있어, 건물 크기와 관계 없이 솔리드웍스만으로 기구설계부터 설치까지 한 번에 해결하고 있다.   그림 4. 공조기용 필터리스 공기정화장치의 3D 렌더링 이미지   어썸레이는 본격적인 제품 생산과 판매를 앞두고 더욱 바쁜 나날을 보내고 있다. 상업 부동산에 부는 ‘웰니스 밸류애드(wellness value add)’의 유행 때문이다. 기존 부동산의 밸류애드(가치 부가)는 증축이나 리모델링같은 재투자를 통한 자산 업그레이드와 입점 브랜드 교체 같은 관심 업그레이드가 중심이었다. 하지만, 웰니스 밸류애드는 ‘웰니스(wellness)’와 ‘그린(green)’의 가치를 부여한다. 어썸레이는 포스트 코로나 이후 웰니스에 대한 관심이 개인 공간을 비롯해 공공시설, 상업시설에서도 늘고 있다는 점을 들면서, 웰니스 밸류애드 사업이 향후 꾸준히 성장할 것으로 기대하고 있다.   플로 시뮬레이션으로 더 큰 시장을 노린다 솔리드웍스의 부가기능은 인력과 시간이 부족한 스타트업에게 꼭 필요한 도구이다. 사업발표회에서 쓸 3D 실사 렌더링 이미지도 솔리드웍스에서 작업한 모델링 파일을 불러와 솔리드웍스 비주얼라이즈(SOLIDWORKS Visualize)로 재질을 변경하고, 카메라 위치와 조명을 적절히 사용해 밋밋한 발표를 뒤집고 이목을 끄는 데 성공했다. 그리고, 코로나19의 감염 확산을 막기 위한 실내 환기의 중요성과 오염 과정을 보여줄 때도 솔리드웍스 작업 파일 그대로 솔리드웍스 플로 시뮬레이션(SOLIDWORKS Flow Simulation)으로 작업해, 실내공기 유입과 차단, 환기의 과정을 한눈에 보여주었다. 사업 초기에는 구글에서 유사한 이미지를 찾아 4~5번 설명하고 이해시켰다면, 이제는 솔리드웍스 플로 시뮬레이션으로 엔지니어가 설계한 제품을 실제 작동환경과 유사하게 가상에서 시뮬레이션해 보여줄 수 있게 되었다.   그림 5. 솔리드웍스 플로 시뮬레이션을 활용한 단면 속도/압력 분포 유동해석   현재 어썸레이에 숙련된 해석 엔지니어가 없음에도 불구하고 이런 일이 가능한 이유는, 솔리드웍스의 단일 프로그램에서 모델링과 해석을 동시에 진행하기 때문에 파일 변환에 따른 문제가 없었고 조작이 직관적이기 때문이다. 또한 솔리드웍스 플로 시뮬레이션은 표면적으로 최종 설계 의도와 맞게 작동하는지를 검증할 수 있어, 앞으로 들어갈 제작 비용도 아낄 수 있다. 어썸레이는 “솔리드웍스 및 솔리드웍스 플로 시뮬레이션을 도입한 것은 채 3년이 되지 않는다. 그래도 이와 같이 기관투자자의 눈을 만족시키고, 머리를 이해시키고, 지갑을 열게 했으니 도입 비용은 충분히 회수한 셈”이라고 설명했다. 해외 진출의 꿈은 스타트업도 다르지 않다. 하지만 해외 시장은 언어부터 사회조직, 교육수준, 자연환경 그리고 비즈니스 문화까지 모든 점에서 국내와 다르다. 그렇기 때문에 해외 바이어에게 더 구체적이고 신뢰할 수 있는 국제표준 자료를 제시해야 한다. 어썸레이는 솔리드웍스의 3D 모델링 데이터와 플로 시뮬레이션 해석 데이터 그리고 엔지니어 역량을 바탕으로 제품의 완성도를 높이고, KOTRA 글로벌 쇼케이스 프로그램을 통하여 해외 진출을 향한 걸음을 내딛고 있다. 어썸레이는 “미세먼지로 고생한 지 십 수년, 코로나19로 고생한 지 1년. 지난 시간을 되돌아보니, 맑은 공기를 마음껏 마시는 것에 얼마나 무관심했는지 마스크 없이도 외출할 수 있는 것에 얼마나 감사한지 되돌아보는 기회가 됐다”면서, “솔리드웍스도 마찬가지이다. 솔리드웍스가 없는 제품 기획은 생각할 수 없고, 솔리드웍스의 모델링과 플로 시뮬레이션이 없는 제품 성능 개선은 있을 수 없는 일이 됐다”고 전했다.   “그린뉴딜 프로젝트를 수행하면서 솔리드웍스 작업량이 늘었다. 그래도 직관적인 인터페이스 덕분에 작업분량 대비 속도가 향상됐다. 또한, 무엇이든 솔리드웍스 하나로 해결할 수 있다는 점에서 가장 큰 점수를 주고 싶다. 엔지니어의 의도대로 되는 3D 설계, 높은 품질의 렌더링, 높은 신뢰도의 해석 결과를 얻을 수 있었다. 또한 투자검토와 대외홍보를 위한 자료 준비 시간과 비용도 줄어 매우 만족한다.” - 어썸레이 배성현 연구원     ■ 기사 내용은 PDF로도 제공됩니다.

어플라이드 머티어리얼즈가 센트리스 Sym3(Centris Sym3) 식각(etching) 제품군에 ‘센트리스 Sym3 Y’ 신제품을 성공적으로 추가했다고 밝혔다. 반도체 제조사는 센트리스 Sym3 Y 신제품을 사용해 첨단 메모리와 로직 칩에 더욱 소형화된 특성을 정밀하게 패터닝하고 성형할 수 있다고 소개했다. 새로운 센트리스 Sym3 Y는 어플라이드의 최첨단 컨덕터 식각 시스템이다. 이 제품은 혁신적인 RF 펄싱(pulsing) 기술을 사용, 핀펫(FinFET)과 최근 각광받는 게이트 올 어라운드(GAA) 아키텍처를 포함한 3D 낸드, D램, 로직에서 고도로 집적된 고종횡비(high-aspect-ratio) 구조 생성을 위해 요구되는 매우 높은 수준의 소재 선택성, 깊이, 프로파일 제어를 제공한다. ▲어플라이드 최첨단 컨덕터 식각 시스템 ‘센트리스 Sym3 Y’   Sym3 제품군의 기술적 고유 특성은 고전조도(high-conductance) 챔버 아키텍처다. 이 아키텍처는 웨이퍼가 패싱할 때마다 축적될 수 있는 식각 부산물을 빠르고 효율적으로 제거함으로써 탁월한 식각 프로파일 제어를 제공한다. Sym3 Y 시스템은 핵심 챔버 부품을 보호하는 독점 코팅 소재를 사용하며 결함률을 낮추고 수율을 개선한다. 2015년 처음 등장한 Sym3 식각 시스템은 현재까지 5천개 챔버가 출하되며 어플라이드 역사상 가장 빠르게 성장하는 제품으로 자리매김했다. 소재 성형과 패터닝에 대한 새로운 방식을 제공하는 Sym3 제품군을 활용해 고객은 혁신적 3D 구조와 2D 축소를 지속할 새로운 방식을 구현하고 있다. 어플라이드는 Sym3 시스템을 특유의 CVD 패터닝 필름으로 공동 최적화하며, 이를 통해 고객은 3D 낸드 메모리 소자 레이어 수를 늘리고 D램 레이어 쿼드러플(quadruple) 패터닝에 필요한 과정을 줄인다. 이 기술은 어플라이드 전자빔 검사와 검토 기술이 함께 적용되어 업계 최첨단 노드 연구개발과 대량 생산에 박차를 가한다. 따라서 고객은 칩의 PPACt(전력∙성능∙공간비용∙출시소요기간)를 개선할 수 있다. 무쿤드 스리니바산(Mukund Srinivasan) 어플라이드 머티어리얼즈 반도체 제품 그룹 부사장 겸 총괄은 “어플라이드는 Sym3 시스템 출시와 함께 컨덕터 식각에 완전히 새로운 접근법을 적용해 3D 낸드와 D램에서 가장 어려운 식각 문제 중 일부를 해결했다”며 현재 어플라이드는 최첨단 메모리, 파운드리 로직 노드의 주요 식각 및 EUV 패터닝 애플리케이션에서 탄탄한 모멘텀과 성장을 거두고 있다. 앞으로도 기준을 높이고 차세대 칩 설계가 가능하도록 지원할 것”이라고 밝혔다. 한편 각각의 Sym3 Y 시스템은 여러 개 식각 및 플라스마 클린 웨이퍼 공정 챔버로 구성된다. 시스템 인텔리전스는 모든 공정 챔버가 정확하게 매칭되도록 제어해 반복적 결과와 높은 생산성을 가능하게 한다. 전 세계 여러 선도적 낸드, D램, 파운드리 로직 고객이 Sym3 Y 시스템을 이미 사용하고 있다.

KLA Corporation은 eSL10 전자빔 패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템(e-beam patterned-wafer defect inspection system)을 개발했다고 발표했다. 이 새로운 시스템은 기존의 광학 장비 또는 다른 전자빔 결함 검사 플랫폼으로는 검출할 수 없는 결함을 검출하고 보고함으로써 극자외선 (EUV) 리소그래피 공정으로 제조되는 반도체 칩을 비롯한 고성능 로직과 메모리 반도체 칩의 출시 시기를 앞당기도록 설계된 제품이다. eSL10 전자빔 검사 시스템은 중대한 결함 검출의 한계를 극복하기 위해 보강한 몇 가지 혁신적 기술을 탑재하고 있다. 이 시스템에는 고유의 전자 광학 설계가 적용되었기 때문에, 다양한 종류의 공정 층과 디바이스 유형 전반에 대한 결함 검출을 위해 업계에서 넓은 운용 범위를 제공한다. 옐로우스톤(Yellowstone) 스캐닝 모드에서는 한 번의 스캔 당 100억 픽셀의 정보를 사용하여 높은 해상도를 유지하면서 빠른 속도로 운용할 수 있으므로, 의심되는 핫스팟의 효율적인 검사 또는 광범위한 영역의 결함 검출이 가능하다.     Simul-6 센서 기술은 단 한번의 스캔으로 표면, 형상, 재료 명암, 딥 트렌치(deep trench) 정보를 모두 수집하므로, 도전적인 디바이스 구조와 재료에 대하여 다른 결함 유형을 식별하는데 필요한 시간을 감소시킨다. eSL10은 첨단 인공 지능 (AI) 시스템을 통해 IC 제조업의 진화하는 검사 요구조건에 적응하는 딥 러닝 알고리즘을 사용하여, 디바이스의 성능에 가장 중대한 영향을 주는 결함들을 구별해낸다. KLA e-beam 부문의 아미르 아조르데간(Amir Azordegan) 총괄 매니저는 “단일 고전류밀도 전자빔을 사용하는 eSL10 시스템은 전자빔 검사 능력을 새로운 수준으로 끌어올렸다”며 “지금까지 기존 전자빔 검사 시스템은 높은 감도와 빠른 속도 중 하나만 제공하였으며, 이는 시스템의 실제 응용을 크게 제한했다. 우리의 뛰어난 엔지니어링 팀은 전자빔 아키텍처와 알고리즘에 완전히 새로운 방식으로 접근함으로써 기존의 툴이 해결할 수 없던 문제들을 해결할 수 있는 시스템을 설계했다. 오늘날 KLA는 전자빔 검사를 첨단 디바이스 제조에 중대한 영향을 주는 필수적인 장비로 자리매김하고 있다”고 말했다

■ 개발 및 공급 : SHINING3D, http://en.shining3d.com■ 주요 특징 : 백색광 방식 데스크탑형 3D스캐너■ 가격 : 160만원(부가세 별도) SHINING3D(샤이닝3D)에서 개발한 아인스캔(EinScan)은 백색광 방식의 데스크톱형 3D 스캐너이다. 3D 프린터를 위한 3D 데이터는 만들기 어려운데 기존 3D 스캐너는 너무 가격이 높거나 저가 제품은측정 사이즈에 제한이 있고 속도가 너무 느려 활용도가 떨어졌다. 아인스캔은 Scan To 3D Print가 가능한 3D 스캐너로 개발됐다. 3D로스캔된 이후 빈 공간들은 자동으로 채워지고 거친 부분은 매끄럽게 보정해 3D 프린터로 출력할 수 있는 최적의 상태로 만들어 준다. 2015년 8월에 새롭게 출시된 아이스캔은 스캐너 본체, 자동 회전판,캘리브레이션 판, 삼각대(옵션), 보관 가방(옵션)으로 구성되어 있다. 주요 특징레이저 방식이 아닌 백색광 방식으로 0.1mm 이하의 높은 정밀도를 제공한다. 작은 물체(200x200x200mm 이하)는 자동회전 테이블에 올려 놓으면 자동으로 3D 스캔이 가능하다. 또한 스캔이 안 된 부분은 추가적으로 3D 스캔해 정렬할 수 있다. 큰 물체(700x700x700mm 이하)는 부분적으로 3D 스캔해 계속 정합하는 방식으로 스캔할 수 있다.(고가의 장비에서만 지원하는 기능으로 고가 3D 스캐너 활용 기술 습득 가능) 오토 스캔을 이용하면 전체 데이터 취득까지 4분 안에 완료된다. 기존 저가형 제품은 레이저 방식으로 속도가 느리지만 빔프로젝터를 내장한 광학 방식으로 약 4배 빠르다. 자동 회전테이블에 물체를 올려놓고 단순히 ‘클릭’만 하면, 모든 스캔 프로세스가 자동으로 진행된다. 또한 데이터 보정이 자동으로 진행되어 빈 공간을 메우고 3D 프린팅 가능한 최적 상태의 파일로 수정된다. 주요 기능3D 스캔 후 3D 프린터 출력 시 추가적인 데이터 편집이 필요없다. 3D 스캔 완료시 빈 공간이 자동으로 채워지고 또한 출력용으로 매끄럽게 보정된다. 일반 저가형은 추가 스캔에 대한 정렬기능이 없어 정확한 형상 취득이 불가능하다. 아인스캔은 추가 스캔에 대한 정렬 기능으로 움푹 파인 제품까지 3D 스캔이 가능하다. 내장된 빔프로젝터로 구조화된 광 펄스를 주사한 후, 2개(1.3M) CCD 카메라로 3D 스캔 데이터를 측정해 높은 정밀도(0.1mm 이하) 및 높은 정확도의 데이터 생성이 가능하다. 기존 보급형 3D 스캐너보다 고품질의 스캔 데이터를 제공하며, 고가 3D 스캐너와 비교해도 뒤지지 않는 3D 스캔 퀄리티를 제공한다. 기사 상세 내용은 PDF로 보실 수 있습니다.